真空行業(yè)熱工解決方案
致力于成為國(guó)內(nèi)外電加熱器成套解決方案供應(yīng)商，滿足客戶不同溫度需求定制化產(chǎn)品。
Star-Radiant系列真空加熱器
Star-Radiant系列真空加熱器由量動(dòng)技術(shù)專家研發(fā)，專為高性能真空加熱應(yīng)用設(shè)計(jì)。 該系列通過增強(qiáng)輻射及紅外線發(fā)射率，彌補(bǔ)真空環(huán)境下對(duì)流與傳導(dǎo)的傳熱缺失，并采用Rock-D強(qiáng)化技術(shù)，使加熱元件成為高度一體化結(jié)構(gòu)，在高溫、負(fù)壓環(huán)境下保持穩(wěn)定。
量動(dòng)獨(dú)特的真空負(fù)壓抗爆技術(shù)大幅降低高溫高真空狀態(tài)下的爆管風(fēng)險(xiǎn)。 Star-Radiant已達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平，廣受北方華創(chuàng)、北航、大物所、利方達(dá)等科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)認(rèn)可，并應(yīng)用于高端真空領(lǐng)域。
技術(shù)開拓
TECHNOLOGICAL DEVELOPMENT
Star-Radiant-EC標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái)
溫度范圍：
- 真空爐溫度：?350℃
- 加熱元件表面溫度：?650℃
特點(diǎn)：
- 專為低溫真空加熱需求設(shè)計(jì)。
- 采用高效加熱技術(shù)，無(wú)需紅外線增強(qiáng)即可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的熱能輸出。
- 能耗低、成本經(jīng)濟(jì)，是滿足一般真空爐加熱需求的理想選擇。
應(yīng)用場(chǎng)景：
- 半導(dǎo)體制造中的薄膜沉積 (CVD、PVD工藝)。
- 真空鍍膜工藝和其他工業(yè)上的真空應(yīng)用。
- 半導(dǎo)體晶圓加熱盤、加熱板
- 半導(dǎo)體鍵合工藝加熱模塊
- 半導(dǎo)體封裝工藝加熱模塊
- 其他真空?qǐng)鼍皯?yīng)用
Star-Radian-G標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái)
溫度范圍：
- 真空爐溫度：?650℃
- 加熱元件表面溫度：?850℃
特點(diǎn)：
- 采用紅外線增強(qiáng)技術(shù)，顯著提升加熱效率和均勻性。
- 性能優(yōu)異，能夠滿足中高溫加熱需求。
- 專為真空鍍膜設(shè)備設(shè)計(jì)，提供精準(zhǔn)而穩(wěn)定的溫控支持。
應(yīng)用場(chǎng)景：
- 半導(dǎo)體制造中的薄膜沉積 (CVD、PVD工藝)。
- 真空鍍膜工藝和其他工業(yè)上的真空應(yīng)用。
- 半導(dǎo)體晶圓加熱盤、加熱板
- 半導(dǎo)體鍵合工藝加熱模塊
- 半導(dǎo)體封裝工藝加熱模塊
- 其他真空?qǐng)鼍皯?yīng)用
Star-Radiant-Max標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái)
溫度范圍：
- 真空爐溫度：?950℃
- 加熱元件表面溫度：?1150℃
特點(diǎn)：
- 采用先進(jìn)的紅外線增強(qiáng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)極高的熱效率和精準(zhǔn)控溫。
- 設(shè)計(jì)用于高溫操作，耐用性強(qiáng)，適用于嚴(yán)苛工藝環(huán)境。
- 滿足最苛刻的加熱要求，是高溫真空設(shè)備的理想選擇。
應(yīng)用場(chǎng)景：
- 高溫?zé)崽幚硇袠I(yè)
- 增材研發(fā)
- 高溫高性能真空鍍膜工藝
- 半導(dǎo)體工業(yè)
- 軍工
- 科研
- 其他高真空高溫工業(yè)應(yīng)用
核心技術(shù)
CORE TECHNOLOGY
StressFree應(yīng)力釋放設(shè)計(jì)技術(shù)
在關(guān)鍵部件上進(jìn)行應(yīng)力緩釋優(yōu)化，例如增加膨脹節(jié)或柔性連接件，允許材料在熱膨脹過程中自然釋放應(yīng)力，避免因應(yīng)力積累導(dǎo)致的開裂或變形。
UniTherm通過仿真分析熱場(chǎng)分布，優(yōu)化加熱元件的布局和功率，使溫度分布更均勻，降低因局部過
StressDyn動(dòng)態(tài)應(yīng)力調(diào)節(jié)技術(shù)
在加熱器設(shè)計(jì)中引入可調(diào)結(jié)構(gòu)或補(bǔ)償機(jī)制，允許設(shè)備在不同工況下自動(dòng)調(diào)整熱膨脹快速冷卻機(jī)制，在超高溫工況下，設(shè)計(jì)緊急冷卻路徑或系統(tǒng)，快速降低設(shè)備溫度，保護(hù)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。
StressDyn動(dòng)態(tài)應(yīng)力調(diào)節(jié)技術(shù)
通過高精度氦質(zhì)譜檢測(cè)，確保加熱元件在極限真空環(huán)境下的密封性與可靠性，有效降低泄漏風(fēng)險(xiǎn)，保障長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
相關(guān)核心產(chǎn)品
RELATED CORE PRODUCTS
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