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限制級電熱工技術解決方案

專注于限制級電熱工基礎科學的研究
突破“卡脖子”技術和關鍵核心技術攻關

晶圓加熱盤以及熱模組批量化

晶圓加熱盤以及熱模組批量化

完成6寸、8寸、12寸晶圓加熱盤以及熱模組批量化交付,擁有全新的SDP開發(fā)工藝技術,能夠根據用戶端的實際需求提供(不銹鋼)工藝、真空釬焊工藝、重力壓鑄(鋁合金)工藝等全套解決方案,完成進口替代。